阐述球形硅微粉的工艺要求!

    球形硅微粉是一项跨学科的高难度工程,由于该技术涉及高性能芯片技术的开发,国外对硅微粉球形化技术高度保密,获得的国外产品参数也不完整、专用设备更是鲜见。
    该方法是利用交流或直流电弧等离子体产生的高温气体作热源,将石英粉体喷射到等离子焰中,粉体受热熔化并瞬间气化,再经骤冷,经旋风和布袋收集,便得到球状硅微粉。
    其特点是加热温度高,可以获得比化学燃烧高5倍以上的温度(3000K以上)场,高温高热和高活性气氛使化学反应进行非常迅速,导致化学液相法难以合成的高温相化合物快速生成(如氮化物、碳化物和硼化物等);当反应物料离开等离子体时,经急骤冷却,粒子不再长大;可根据不同需要形成不同气氛的等离子态,反应物选择范围宽。
    该方法是把物料置于高温场中将其熔化使之成为熔融体,在熔融体流出的瞬间,以通过喷射器的高压空气进行喷吹,熔融物被高速气流分散打碎成雾状小液滴,再被迅速冷却,小液滴遇冷便快速自然收缩成表面光滑的球状颗粒。高温熔融喷射法是最易保证球形化和无定形率的方法。但是,炉体高温材料、粘稠的石英熔融体雾化以及防止二次污染等一系列关键技术很难突破,用于制造高纯球形石英粉难度相当大。
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